在滤液出口处形成负压作为过滤的推动力。工业真空过滤器操作真空的压力为(2.5～8.0)×105帕。过滤时悬浮液的温度应低于操作真空下滤液的汽化温度。这种过滤器又分为间歇操作和连续操作两种。间歇操作的真空过滤机可过滤各种浓度的悬浮液。真空过滤器在容器外壳内充满悬浮液。两侧包有滤布的滤叶浸于悬浮液中，滤叶内腔与真空系统连通。滤液吸出后由导管引出，积在滤叶表面的滤渣在停机后清除。连续操作的真空过滤器适于过滤含固体颗粒较多的稠厚悬浮液。转鼓真空过滤器、内滤面转鼓真空过滤器、圆盘真空过滤器和翻斗真空过滤器的工作原理均相似。整个过滤面分成多个隔开的过滤室，每个回转的过滤室通过分配阀与各固定管顺序接通，以吸出过滤室内的滤液、洗液，或送入压缩空气。每个过滤室回转一圈完成过滤操作的全过程，多个过滤室的操作衔接起来即形成连续过滤。带式真空过滤器的结构与带式输送机相似，有一连续滤带，适用于易过滤的悬浮液。带式真空过滤器、内滤面转鼓真空过滤器和翻斗真空过滤器均在过滤介质(滤布)上部加料，尤其适用于固体颗粒密度大、沉降快的悬浮液。
过滤器的迅速发展是与工业和电子工业的发展紧密相关的。在次期间，由于各种化学毒剂的使用，以石棉纤维过滤纸作为滤烟层的防毒面具应运而生。玻璃纤维过滤介质用于空气过滤于1940年10月在美国取得。50年代，陶瓷膜过滤器生产厂家，美国对玻璃纤维过滤纸的生产工艺进行了深入的研究，使空气过滤器得到了改善和发展。60年代，HEPA过滤器问世；70年代，采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的HEPA过滤器，许昌陶瓷膜过滤器，对013微米粒径的粒子过滤达99.9998%。八十年代以来，随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高，发现HEPA过滤器存在着严重的问题，于是又产生了性能更高的ULPA过滤器。各国仍在努力研究，估计不久就会出现更先进的空气过滤器。
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