电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求,并且室内的气体和种类非常多,电子厂净化板车间对纯度和洁净度要求高:
室内空间的空态噪声等级应该不大于60db(A)。
无尘车间的室外与室内的静压差不小于10pa,洁净度区与非洁净度区不应小于5pa。
电子制造行业的无尘车间满布比应该合理分配,单向流洁净室大于等于40%,垂直流洁净室小于60%,只有这样才可以,否则就会变成局部单向流。
Zui后,有关电子无尘车间的净化空调系统加热器,应设置新风和超温断电保护(若采用点加湿时应设置无水保护)。天气比较冷的地区,应该设置新风系统的防冻保护措施。
高性能的净化板无尘车间,能够为电子芯片的生产和制作,创造高洁净度的大气环境,只有在这样的环境下,才能够保证电子芯片的安全生产。